Zoran Stamenkovic: Integrisana kola, projektovanje, proizvodnja, prinos (Sazetak)

Prvi deo monografije sadrzi kratak opis osnovne konfiguracije tranzistora u bipolarnim i MOS integrisanim kolima i detaljno razmatranje strukture i topografije CMOS integrisanih kola. U okviru toga prikazani su tehnoloski procesi izrade i pravila projektovanja osnovnih i slozenih funkcionalnih celina digitalnih CMOS integrisanih kola.

U drugom delu napravljen je kriticki pregled modela prinosa integrisanih kola, sa posebnim osvrtom na mogucnosti njihove primene za predvidjanje zavisnosti prinosa od slozenosti integrisanih kola. Na primeru modela za upravljanje prinosom analizirana je selekcija tipova integrisanih kola za proizvodnju.

Treci deo monografije posvecen je modelima za ocenu kriticnih povrsina integrisanih kola za tackaste i litografske defekte. Definisana je kriticna povrsina za tackaste defekte kao povrsina preklapanja pojedinih provodnih slojeva cipa. Predlozen je novi izraz za ocenu kriticnih povrsina za kratke spojeve i prekide likova integrisanih kola, koji modelira efekat krajeva. Pored toga, opisan je model pogodan za racunarsku ekstrakciju kriticnih povrsina.

U cetvrtom delu opisan je originalni metod za lokalnu ekstrakciju kriticnih povrsina i razradjen algoritam za ekstrakciju povrsina preklapanja i algoritam za ekstrakciju kriticnih povrsina za litografske defekte. Osim toga, diskutovane su karakteristike softverskog sistema PRELAY/EXACCA/GRAPH u kojisu ugradjeni pomenuti algoritmi. Najznacajnije prednosti ovog ekstrakcionog metoda i na njemu zasnovanog softverskog sistema su jednostavne strukture podataka (lancane liste) za smestanje likova i kriticnih povrsina integrisanih kola i hijerarhijska ekstrakcija kriticnih povrsina.

KLJUCNE RECI:

tranzistor, integrisano kolo, defekt, model, ekstrakcija kriticne povrsine, otkaz, prinos.

prikaz knjige

Biblioteka DISSERTATIO

Zaduzbina Andrejevic