Mehanizmi supstitucijske difuzije
Direktnom zamenom
Prstenasto
Prazninama
Direktnom zamenom
Mnogo atoma treba da se pomeri sa puta da bi se ovo izvelo, a u realnom gusto spakovanom kristalnom sistemu, bilo bi još manje prostora, pa se ovaj mehanizam ne razmatra.
Prstenasto
Iako prstenasti mehanizam zahteva manje prostora od mehanizma direktnom zamenom, on se ne razmatra jer svih 4 atoma u prstenu treba da se zajedno premeštaju na isti način, a to je vrlo malo verovatno. Kod gusto spakovane kristalne strukture, potreban je veći broj atoma za koordinaciju u prstenu.
Prazninom
Kada postoji praznina, mnogo je manja energetska barijera za premeštanje atoma u njeno mesto, pa je ovaj mehanizam difuzije prihvatljiv. Gustina praznina određuje brzinu difuzije. U realnoj strukturi, svi atomi vibriraju, a pri dovoljno visokoj temperaturi neki atomi će imati dovoljno energije za preskakanje barijere i premeštanje u položaj praznine.